電子無塵廠房
凈化車間要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。
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凈化車間要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施：
（1）對凈化車間的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用高效或亞高效過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入凈化車間的空氣，進行最后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
（2）根據凈化車間的等級，合理選擇凈化車間的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利于凈化車間內的微粒從回風口排走。
（3）有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。
（4）不同等級的凈化車間、凈化車間與非凈化車間或凈化車間與室外之間均應保持一定的正壓值。
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